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上海芯东来半导体申请光刻机传动机构专利处理
【概要描述】
- 分类:机械知识
- 作者:6165cc金沙总站(中国)有限公司
- 来源:
- 发布时间:2025-05-18 12:50
- 访问量:2025-05-18 12:50
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金融界2025年3月25日动静,国度学问产权局消息显示,上海芯东来半导体科技无限公司申请一项名为“一种传动机构及光刻机”的专利,公开号CN 119668052 A,申请日期为2025年2月。专利摘要显示,本申请供给了一种传动机构及光刻机,属于光刻机手艺范畴。本申请中的传动机构通过正在其传输径上设置可以或许发出声波的第一支持单位以及可以或许发出光波的第二支持单位,通过第一支持单位和动子之间发生的声压以及第二支持单位和动子之间发生的光压支持动子,从而可以或许使得动子正在挪动过程中不取导轨间接接触,继而处理了保守传动方式都存正在有摩擦的问题。天眼查材料显示,上海芯东来半导体科技无限公司,成立于2023年,位于上海市,是一家以处置专业手艺办事业为从的企业。实缴本钱600万人平易近币。通过天眼查大数据阐发,上海芯东来半导体科技无限公司参取招投标项目9次?。
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